用三维微结构对介电层进行微工程设计已被证明可有效提高柔性压力传感器的灵敏度。 然而，广泛采用的固体微结构的几何设计由于其固有但不受欢迎的结构压缩性，在很宽的压力范围内表现出有限的灵敏度。

这里，华中科技大学YongAn Huang，Fan Zhang提出了一种 Marangoni 驱动的确定性形成方法来制造空心微结构，允许更大的变形，同时延缓压缩过程中的结构硬化。

文章要点

1）流体对流沉积使溶质颗粒能够在模板微结构中重新组装，控制内部空腔，空隙率超过 90%。

2）与采用实心微金字塔的压力传感器相比，空心微金字塔传感器在更宽的压力范围内表现出 10 倍的灵敏度提高，并且检测限超低至 0.21 Pa。

3）凭借便利、可扩展和大面积兼容性的优势，这种空心微结构方法可以扩展到其他类型的传感器以获得卓越的性能，并且在机器人触觉和表皮设备中具有巨大的潜力。

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Xiong, W., Zhang, F., Qu, S. et al. Marangoni-driven deterministic formation of softer, hollow microstructures for sensitivity-enhanced tactile system. Nat Commun 15, 5596 (2024).

DOI：10.1038/s41467-024-49864-z

https://doi.org/10.1038/s41467-024-49864-z