减薄技术已经获得了巨大发展,特别是在推动纳米世界的前沿研究中。近日,国立中山大学Phuong V. Pham、台湾高雄医学大学Vinoth Kumar Ponnusamy、成均馆大学Jin-Hong Park综述研究了二维材料的逐层减薄。
本文要点:
1) 作者详细介绍了基于传统等离子体辅助减薄、集成循环等离子体辅助减薄、激光辅助减薄,金属辅助分裂和层分辨分裂的代表性2D材料(如石墨烯、黑磷、MoS2、h-BN、WS2、MoSe2和WSe2)的自上而下减薄策略,以及它们的机制和优点。
2) 此外,作者进一步探讨了通过自上而下的2D材料减薄策略实现的半导体器件潜在优势的最新进展。
Phuong V. Pham et.al Layer-by-layer thinning of two-dimensional materials Chem. Soc. Rev. 2024
DOI: 10.1039/D3CS00817G
https://doi.org/10.1039/D3CS00817G