微电子、热电和光子设备的热控制需要在纳米尺度上识别热路径的实用技术。使用各种方法的纳米级测温已经得到了广泛的研究，但还没有最终确定可靠的方法。

近日，美国国家材料科学研究所Naoyuki Kawamoto开发了一种独创的技术，利用室温下脉冲会聚电子束在扫描电子显微镜(STEM)模式下诱导的热波。

文章要点

1）通过量化每个辐照位置的相对位相延迟，研究人员证明了在空间分辨率为~10 nm、温度分辨率为0.01K的各种样品中的热输运，定量地证实了声子-表面散射由于热扩散率的抑制。

2）研究人员模拟了脉冲会聚电子束附近的声子-晶界散射和弹道声子输运。

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Hieu Duy Nguyen, et al, STEM in situ thermal wave observations for investigating thermal diffusivity in nanoscale materials and devices, Sci. Adv. 10 (2), eadj3825. DOI: 10.1126/sciadv.adj3825

https://www.science.org/doi/10.1126/sciadv.adj3825