将微型透明能源器件(锂离子电池)、电子器件(薄膜晶体管)和传感器件(光电探测器)充分集成,形成单片集成微系统,大大增强了透明电子的功能。
这里,东南大学Xiaodong Huang报道了InGaZnO由于其多功能特性而用于制备上述器件和微系统。
文章要点
1)作者提出以 InGaZnO 作为阳极的透明锂离子电池(容量~9.8 μAh cm−2 )作为片上电源。然后,在基板上制备以InGaZnO为沟道的薄膜晶体管(迁移率~23.3 cm2 V−1 s−1)和以InGaZnO为感光层的光电探测器(响应度~0.35 A W−1),构建全集成的透明微系统。
2)每个设备都显示出可接受的性能。此外,利用薄膜晶体管作为片上整流器,可以成功地将交流信号充电到锂离子电池中,并且利用充电后的电池作为片上电源,光电探测器工作良好,展示了协作能力各设备实现系统功能。
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Jia, B., Zhang, C., Liu, M. et al. Integration of microbattery with thin-film electronics for constructing an integrated transparent microsystem based on InGaZnO. Nat Commun 14, 5330 (2023).
DOI:10.1038/s41467-023-41181-1
https://doi.org/10.1038/s41467-023-41181-1