Nat Commun:用于集成纳米器件的钙钛矿纳米晶体阵列的原位生长
Nanoyu Nanoyu 2023-07-06

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尽管卤化物钙钛矿材料和器件的开发取得了显着进展,但由于缺乏对纳米级图案的控制,它们与纳米级光电子学的集成受到阻碍。由于钙钛矿具有快速降解的倾向,因此与传统的光刻工艺存在化学不相容性。

在这里,麻省理工学院Farnaz Niroui提出了一种替代的自下而上的方法,用于精确和可扩展地形成钙钛矿纳米晶体阵列,并对尺寸、数量和位置进行确定性控制。

文章要点

1在该方法中,使用受控表面润湿性的地形模板来引导局部生长和定位,通过该模板设计纳米级力以实现亚光刻分辨率。

2通过这项技术,研究人员展示了 CsPbBr3 纳米晶体的确定性阵列,其可调尺寸低至 <50 nm,位置精度 <50 nm。

3多功能、可扩展且与设备集成工艺兼容,然后使用该技术来演示纳米级发光二极管阵列,突出了该平台为钙钛矿集成到片上纳米设备中提供的新机会。

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Jastrzebska-Perfect, P., Zhu, W., Saravanapavanantham, M. et al. On-site growth of perovskite nanocrystal arrays for integrated nanodevices. Nat Commun 14, 3883 (2023).

DOI:10.1038/s41467-023-39488-0

https://doi.org/10.1038/s41467-023-39488-0


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