由于嵌段共聚物能够自组装成特征尺寸在几纳米及以上的有序纳米结构,因此可用于纳米制造和图案转移。
近日,麻省理工学院Caroline A. Ross报道了金属前驱体的酸性溶液中的金属渗入到聚苯乙烯-b-P2VP嵌段共聚物的聚2-乙烯基吡啶(P2VP)微区中,减少了随后的溶剂退火过程中对溶剂蒸汽的吸收,锁定了自组装微区的形态。
文章要点
1)随着金属前驱体[PtCl4]2−和盐酸浓度的增加,加入到P2VP中的金属(这里是铂)的量增加,达到每吡啶单位0.83铂原子。然后用KOH+乙二胺四乙酸二钠(Na2EDTA)络合溶液渗出金属,恢复溶剂吸收并解锁形态。
2)金属渗入和形态锁定的可逆性在多步退火过程中得到证实,这一点在Fe和Pt中都得到了证实。嵌段共聚物微域形态的可逆锁定和解锁通过允许在后续工艺步骤中固定形态来扩展其在纳米制造工艺中的用途。
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Mingchao Ma, et al, Reversible Morphology Locking via Metal Infiltration in a Block Copolymer, ACS Nano, 2023
DOI: 10.1021/acsnano.3c00723
https://doi.org/10.1021/acsnano.3c00723